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同惠TH512 半導(dǎo)體C-V特性分析儀
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀是常州同惠電子根據(jù)當(dāng)前半導(dǎo)體功率器件發(fā)展趨勢(shì)，針對(duì)半導(dǎo)體材料及功率器件設(shè)計(jì)的分析儀器。
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀是常州同惠電子根據(jù)當(dāng)前半導(dǎo)體功率器件發(fā)展趨勢(shì)，針對(duì)半導(dǎo)體材料及功率器件設(shè)計(jì)的分析儀器。
同惠TH512 半導(dǎo)體C-V特性分析儀
簡(jiǎn)介
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀是常州同惠電子根據(jù)當(dāng)前半導(dǎo)體功率器件發(fā)展趨勢(shì)，針對(duì)半導(dǎo)體材料及功率器件設(shè)計(jì)的分析儀器。
儀器采用了一體化集成設(shè)計(jì)，二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導(dǎo)體功率器件寄生電容、CV特性可一鍵測(cè)試，無(wú)需頻繁切換接線及設(shè)置參數(shù)，單管功率器件及模組功率器件均可一鍵快速測(cè)試，適用于生產(chǎn)線快速測(cè)試、自動(dòng)化集成。
CV曲線掃描分析能力亦能滿足實(shí)驗(yàn)室對(duì)半導(dǎo)體材料及功率器件的研發(fā)及分析（此功能為選件）。
儀器設(shè)計(jì)頻率為1kHz-2MHz，Vgs電壓可達(dá)±40V，VDS電壓可達(dá)±200V/±1500V/±3000V，足以滿足大多數(shù)功率器件測(cè)試。
簡(jiǎn)要參數(shù)
TH511
TH512
TH513
通道
2（可擴(kuò)展至6）
2（可擴(kuò)展至6）
1
測(cè)試頻率
1kHz-2MHz
測(cè)試參數(shù)
Ciss、Coss、Crss、Rg
VGS范圍
0 - ±40V
VDS范圍
0 - ±200V
0 - ±1500V
0 - ±3000V
功能特點(diǎn)
A.一體化測(cè)試，集成度高、體積小、效率高
一臺(tái)儀器內(nèi)置了LCR數(shù)字電橋、VGS電壓源、VDS電壓源、高低壓切換矩陣以及上位機(jī)軟件，將復(fù)雜的接線、繁瑣的操作集成在支持電容式觸摸的Linux系統(tǒng)內(nèi)，操作更簡(jiǎn)單。特別適合產(chǎn)線快速化、自動(dòng)化測(cè)試。
B.單管器件測(cè)試，10.1寸大屏，四種寄生參數(shù)同屏顯示，讓細(xì)節(jié)一覽無(wú)遺
MOSFET或IGBT*重要的四個(gè)寄生參數(shù)：Ciss、Coss、Crss、Rg，Cies、Coes、Cres、Rg均可一鍵測(cè)試，10.1寸大屏可同時(shí)將測(cè)量結(jié)果、等效電路圖、分選結(jié)果等重要參數(shù)同時(shí)顯示，一目了然。
一鍵測(cè)試單管器件器件時(shí)，無(wú)需頻繁切換測(cè)試腳位、測(cè)量參數(shù)、測(cè)量結(jié)果，大大提高了測(cè)試效率。
C.列表測(cè)試，多個(gè)、多芯、模組器件測(cè)量參數(shù)同屏顯示
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持*多6個(gè)單管器件、6芯器件或6模組器件測(cè)試，所有測(cè)量參數(shù)通過(guò)列表掃描模式同時(shí)顯示測(cè)試結(jié)果及判斷結(jié)果。
D.曲線掃描功能（選件）
在MOSFET的參數(shù)中，CV特性曲線也是一個(gè)非常重要的指標(biāo)，如下圖
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線分析，可以以對(duì)數(shù)、線性兩種方式實(shí)現(xiàn)曲線掃描，可同時(shí)顯示多條曲線：同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數(shù)多條曲線。
TH510系列同時(shí)支持多種曲線掃描模型
曲線支持散點(diǎn)標(biāo)記及粗細(xì)調(diào)節(jié)
獨(dú)創(chuàng)的Ciss-Rg曲線掃描
E.Cs-V功能,二極管結(jié)電容CV特性測(cè)試分析
得益于TH510系列功率器件CV特性分析儀內(nèi)置了2路直流電源，使二極管的CV特性分析成為可能，Cs-V功能可用于測(cè)試各種二極管的結(jié)電容，并可分析二極管的CV特性。
F.等效模式轉(zhuǎn)換
TH510系列功率器件CV特性分析儀測(cè)試結(jié)果的電容C均為串聯(lián)模式Cs，對(duì)于部分需求測(cè)試并聯(lián)模式Cp需求的客戶，可自行切換。
G. 多種獨(dú)特技術(shù)，解決自動(dòng)化配套測(cè)試痛點(diǎn)
在配套自動(dòng)化設(shè)備或者產(chǎn)線時(shí)，經(jīng)常會(huì)遇到下列問(wèn)題，同惠針對(duì)多種情況進(jìn)行了優(yōu)化。
1）獨(dú)特技術(shù)解決Ciss、Coss、Crss、Rg產(chǎn)線/自動(dòng)化系統(tǒng)高速測(cè)試精度
同惠電子在電容測(cè)試行業(yè)近30年的經(jīng)驗(yàn)積累，得以在產(chǎn)線、自動(dòng)化測(cè)試等高速高精度測(cè)試場(chǎng)合，都能保證電容、電阻等測(cè)試精度。
常規(guī)產(chǎn)線測(cè)試，提供標(biāo)準(zhǔn)0米測(cè)試夾具，直插器件可直接插入進(jìn)行測(cè)試，Ciss、Coss、Crss、Rg測(cè)試精度高。
針對(duì)自動(dòng)化測(cè)試，由于自動(dòng)化設(shè)備測(cè)試工裝通常需要較長(zhǎng)連接線，大多自動(dòng)化設(shè)備生產(chǎn)商在延長(zhǎng)測(cè)試線時(shí)會(huì)帶來(lái)很大的精度偏差，為此，同惠設(shè)計(jì)了獨(dú)特的2米延長(zhǎng)線并內(nèi)置了2米校準(zhǔn)，保證Ciss、Coss、Crss、Rg測(cè)試精度和0米測(cè)試夾具一致。
2）接觸檢查（Contact）功能，提前排除自動(dòng)化測(cè)試隱患
在高速測(cè)試特別是自動(dòng)化測(cè)試中，經(jīng)常會(huì)由于快速插拔或閉合，造成測(cè)試治具或工裝表面磨損、引線斷裂而接觸不良，接觸不良的造成的*直接后果是誤判測(cè)試結(jié)果而難以發(fā)現(xiàn)，在廢品率突然增加或發(fā)出產(chǎn)品故障原因退回時(shí)才會(huì)發(fā)現(xiàn)，因此是一個(gè)極大的隱患。
同惠TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀采用了獨(dú)特的硬件測(cè)試方法，采用了四端測(cè)量法，每個(gè)腳位均有兩根線連接，若任意一根線斷裂或者接觸點(diǎn)接觸不良，均可及時(shí)發(fā)現(xiàn)并提供接觸不良點(diǎn)提示，儀器自動(dòng)停止測(cè)試，等待進(jìn)一步處理。
保障了結(jié)果的準(zhǔn)確性，同時(shí)利于客戶及時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，避免了不良品率提高及故障品退回等帶來(lái)的損失。
3）快速通斷測(cè)試（OP_SH）,排除損壞器件
在半導(dǎo)體器件特性測(cè)試時(shí)，由于半器件本身是損壞件，特別是多芯器件其中一個(gè)芯已經(jīng)損壞的情況下，測(cè)試雜散電容仍有可能被判斷為合格，而半導(dǎo)體器件的導(dǎo)通特性才是*重要的特性。
因此，對(duì)于本身導(dǎo)通特性不良的產(chǎn)品進(jìn)行C-V特性測(cè)試是完全沒(méi)有必要的，不僅僅浪費(fèi)了測(cè)量時(shí)間，同時(shí)會(huì)由于C-V合格而混雜在良品里，導(dǎo)致成品出貨后被退回帶來(lái)?yè)p失。
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀提供了快速通斷測(cè)試（OP_SH）功能,可用于直接判斷器件本身導(dǎo)通性能。
4）Crss+Plus功能，解決自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)高頻下Crss負(fù)值問(wèn)題
Crss電容通常在pF級(jí)，容量較小，測(cè)試是個(gè)難題。
而在自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)中，由于過(guò)多的轉(zhuǎn)接開(kāi)關(guān)、過(guò)長(zhǎng)測(cè)測(cè)試引線等帶來(lái)的寄生參數(shù)。
因此，測(cè)試Crss，特別是在高頻測(cè)試時(shí)通常會(huì)出現(xiàn)負(fù)值，
同惠電子憑借在電容器測(cè)試行業(yè)30年的技術(shù)及經(jīng)驗(yàn)積累，采用獨(dú)特的算法的Crss Plus模式，可保證即使是在自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)中、高頻下也能測(cè)的正確的結(jié)果。
5）漏源高壓擊穿保護(hù)技術(shù)，防止損壞測(cè)試儀器
在測(cè)試功率器件電容時(shí)，漏極D通常會(huì)加上高壓，特別是第三代功率半導(dǎo)體器件，電壓甚至可高達(dá)1000V-3000V，當(dāng)漏源瞬間擊穿時(shí)，常會(huì)導(dǎo)致電容器瞬間短路放電，在漏源電壓1500V時(shí)，放電電流可高達(dá)780A，如此大的瞬間電流，會(huì)反沖至儀器內(nèi)部電路，并導(dǎo)致?lián)p壞。
同惠高壓擊穿保護(hù)技術(shù)，解決了此隱患，避免經(jīng)常由于高壓沖擊損壞儀器，降低了維修成本的同時(shí)提高了自動(dòng)化測(cè)試的效率。
6）Interlock互鎖功能，確保高壓下操作環(huán)境安全（僅TH513）
在測(cè)試功率器件需施加高壓，因此對(duì)于操作者及其他設(shè)備的安全隔離非常重要，特別是在自動(dòng)化產(chǎn)線，通常會(huì)將高壓設(shè)備放置在一個(gè)隔離的環(huán)境，并通過(guò)安全門(mén)開(kāi)啟關(guān)閉來(lái)保證操作者的安全。
TH510系列功率器件CV特性分析儀配置了Interlock接口，可與安全門(mén)開(kāi)關(guān)連接，在安全門(mén)開(kāi)啟時(shí)切斷高壓輸出并禁止儀器啟動(dòng)，只有關(guān)閉后才能正常工作。確保了操作者和設(shè)備的安全。
7）模組式器件設(shè)置，支持定制
針對(duì)模組式器件如雙路（Dual）MOSFET、多組式IGBT，有些器件會(huì)有不同類型芯片混合式封裝，TH510系列CV特性分析儀針對(duì)此情況做了優(yōu)化，常見(jiàn)模組式芯片Demo已內(nèi)置，特殊芯片支持定制。
8）10檔分選及可編程HANDLER接口
儀器提供了10檔分選，為客戶產(chǎn)品質(zhì)量分級(jí)提供了可能，分選結(jié)果直接輸出至HANDLER接口
在與自動(dòng)化設(shè)備連接時(shí)，怎么配置HANDLER接口輸出，一直是自動(dòng)化客戶的難題，TH510系列LCR將HANDLER接口腳位、輸入輸出方式、對(duì)應(yīng)信號(hào)、應(yīng)答方式等完全可視化，讓自動(dòng)化連接更簡(jiǎn)單。
H. 簡(jiǎn)單快捷設(shè)置
單測(cè)設(shè)置界面
列表掃描設(shè)置界面
參數(shù)可以任意選擇，可打開(kāi)及關(guān)閉，關(guān)閉參數(shù)可有效節(jié)約時(shí)間和數(shù)據(jù)傳輸；延時(shí)時(shí)間可自動(dòng)設(shè)置或自行設(shè)置；柵極電阻可選漏源短路或漏源開(kāi)路。
CV掃描設(shè)置界面
采用圖形化設(shè)置界面，功能參數(shù)對(duì)應(yīng)原理圖設(shè)置一目了然。
I. 支持定制化，智能固件升級(jí)方式
同惠儀器對(duì)于客戶而言是開(kāi)放的，儀器所有接口、指令集均為開(kāi)放設(shè)計(jì)，客戶可自行編程集成或進(jìn)行功能定制，定制功能若無(wú)硬件更改，可直接通過(guò)固件升級(jí)方式更新。
儀器本身功能完善、BUG解決、功能升級(jí)等，都可以通過(guò)升級(jí)固件(Firmware)來(lái)進(jìn)行更新，而無(wú)需返廠進(jìn)行。
固件升級(jí)非常智能，可以通過(guò)系統(tǒng)設(shè)置界面或者文件管理界面進(jìn)行，智能搜索儀器內(nèi)存、外接優(yōu)盤(pán)甚至是局域網(wǎng)內(nèi)升級(jí)包，并自動(dòng)進(jìn)行升級(jí)。
J. 半導(dǎo)體元件寄生電容知識(shí)
在高頻電路中，半導(dǎo)體器件的寄生電容往往會(huì)影響半導(dǎo)體的動(dòng)態(tài)特性，所以在設(shè)計(jì)半導(dǎo)體元件時(shí)需要考慮下列因素：
在高頻電路設(shè)計(jì)中往往需要考慮二極管結(jié)電容帶來(lái)的影響；
MOS管的寄生電容會(huì)影響管子的動(dòng)作時(shí)間、驅(qū)動(dòng)能力和開(kāi)關(guān)損耗等多方面特性；
寄生電容的電壓依賴性在電路設(shè)計(jì)中也是至關(guān)重要，以MOSFET為例
符號(hào)
名稱
測(cè)試原理
影響
Ciss
輸入電容
漏源短接，用交流信號(hào)測(cè)得的柵極和源極之間的電容，Ciss = Cgs +Cgd
影響延遲時(shí)間；Ciss越大，延遲時(shí)間越長(zhǎng)
Coss
輸出電容
柵源短接，用交流信號(hào)測(cè)得的漏極和源極之間的電容，Coss = Cds +Cgd
Crss越大，漏極電流上升特性越差，這不利于MOSFET的損耗。高速驅(qū)動(dòng)需要低電容。
Crss
反向傳輸電容
源極接地，用交流型號(hào)測(cè)得的漏極和柵極之間的電容，也稱米勒電容
反向傳輸電容等同于柵漏電容。Crss = Cgd
影響關(guān)斷特性和輕載時(shí)的損耗。如果Coss較大，關(guān)斷dv／dt減小，這有利于噪聲。但輕載時(shí)的損耗增加。
Rg
柵極輸入電阻
Rg被定義漏源短接，偶爾也被定義為漏極開(kāi)路
K. 標(biāo)配附件
應(yīng)用
■半導(dǎo)體元件/功率元件
二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光
電子芯片等寄生電容測(cè)試、C-V特性分析
■ 半導(dǎo)體材料
晶圓切割、C-V特性分析
■ 液晶材料
彈性常數(shù)分析
■電容元件
電容器C-V特性測(cè)試及分析，電容式傳感器測(cè)試分析
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào)
TH511
TH512
TH513
通道數(shù)
2（可選配4/6通道）
1
顯示
顯示器
10.1英寸(對(duì)角線)電容觸摸屏
比例
16:9
分辨率
1280×RGB×800
測(cè)量參數(shù)
CISS、COSS、CRSS、Rg，四參數(shù)任意選擇
測(cè)試頻率
范圍
1kHz-2MHz
精度
0.01%
分辨率
10mHz
1.00000kHz-9.99999kHz
100mHz
10.0000kHz-99.9999kHz
1Hz
100.000kHz-999.999kHz
10Hz
1.00000MHz-2.00000MHz
測(cè)試電平
電壓范圍
5mVrms-2Vrms
準(zhǔn)確度
±（10%×設(shè)定值+2mV）
分辨率
1mVrms
0.5Vrms-1Vrms
10mVrms
1Vrms-2Vrms
VGS電壓
范圍
0 - ±40V
準(zhǔn)確度
1%×設(shè)定電壓+8mV
分辨率
1mV
0V - ±10V
10mV
±10V - ±40V
VDS電壓
范圍
0 - ±200V
0 - ±1500V
0 - ±3000V
準(zhǔn)確度
1%×設(shè)定電壓+100mV
輸出阻抗
100Ω，±2%@1kHz
數(shù)學(xué)運(yùn)算
與標(biāo)稱值的絕對(duì)偏差Δ，與標(biāo)稱值的百分比偏差Δ%
校準(zhǔn)功能
開(kāi)路OPEN、短路SHORT、負(fù)載LOAD、夾具校準(zhǔn)
測(cè)量平均
1-255次
AD轉(zhuǎn)換時(shí)間（ms/次）
快速+：2.5ms(＞5kHz)
快速：11ms,
中速：90ms
慢速：220ms
*高準(zhǔn)確度
0.5%（具體參考說(shuō)明書(shū)）
CISS、COSS、CRSS
0.00001pF - 9.99999F
Rg
0.001mΩ - 99.9999MΩ
Δ%
±（0.000% - 999.9%）
多功能參數(shù)列表掃描
點(diǎn)數(shù)
50點(diǎn)，每個(gè)點(diǎn)可設(shè)置平均數(shù)，每個(gè)點(diǎn)可單獨(dú)分選
參數(shù)
測(cè)試頻率、Vg、Vd、通道
觸發(fā)模式
順序SEQ：當(dāng)一次觸發(fā)后，在所有掃描點(diǎn)測(cè)量，/EOM/INDEX只輸出一次
步進(jìn)STEP：每次觸發(fā)執(zhí)行一個(gè)掃描點(diǎn)測(cè)量，每點(diǎn)均輸出/EOM/INDEX，但列表掃描比較器結(jié)果只在*后的/EOM才輸出
圖形掃描
掃描點(diǎn)數(shù)
任意點(diǎn)可選，*多1001點(diǎn)
結(jié)果顯示
同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數(shù)多條曲線
顯示范圍
實(shí)時(shí)自動(dòng)、鎖定
坐標(biāo)標(biāo)尺
對(duì)數(shù)、線性
掃描參數(shù)
Vg、Vd
觸發(fā)方式
手動(dòng)觸發(fā)一次，從起點(diǎn)到終點(diǎn)一次掃描完成，下個(gè)觸發(fā)信號(hào)啟動(dòng)新一次掃描
結(jié)果保存
圖形、文件
比較器
Bin分檔
10Bin、PASS、FAIL
Bin偏差設(shè)置
偏差值、百分偏差值、關(guān)
Bin模式
容差
Bin計(jì)數(shù)
0-99999
檔判別
每檔*多可設(shè)置四個(gè)參數(shù)極限范圍，四個(gè)測(cè)試參數(shù)結(jié)果設(shè)檔范圍內(nèi)顯示對(duì)應(yīng)檔號(hào)，超出設(shè)定*大檔號(hào)范圍則顯示FAIL，未設(shè)置上下限的測(cè)試參數(shù)自動(dòng)忽略檔判別
PASS/FAIL指示
滿足Bin1-10,前面板PASS燈亮，否則FAIL燈亮
存儲(chǔ)調(diào)用
內(nèi)部
約100M非易失存儲(chǔ)器測(cè)試設(shè)定文件
外置USB
測(cè)試設(shè)定文件、截屏圖形、記錄文件
鍵盤(pán)鎖定
可鎖定前面板按鍵，其他功能待擴(kuò)充
接口
USB HOST
2個(gè)USB HOST接口，可同時(shí)接鼠標(biāo)、鍵盤(pán)，U盤(pán)同時(shí)只能使用一個(gè)
USB DEVICE
通用串行總線插座，小型B類（4個(gè)接觸位置）；與USB TMC-USB488和USB2.0相符合，陰接頭用于連接外部控制器。
LAN
10/100M以太網(wǎng)，8引腳，兩種速度選擇
HANDLER
用于Bin分檔信號(hào)輸出
RS232C
標(biāo)準(zhǔn)9針，交叉
RS485
標(biāo)準(zhǔn)差分線
GPIB
24針D-Sub端口（D-24 類），陰接頭與IEEE488.1、2和SCPI兼容
開(kāi)機(jī)預(yù)熱時(shí)間
60分鐘
輸入電壓
100-120VAC/198-242VAC可選擇，47-63Hz
功耗
不小于130VA
尺寸（WxHxD）mm
430x177x405
重量
16kg
附件
| 標(biāo)配 | |||||
| 配件名稱 | 型號(hào) | ||||
| PIV測(cè)試夾具 | TH26063B | ||||
| PIV測(cè)試夾具 | TH26063C | ||||
| TH510夾具控制連接電纜 | TH26063D | ||||
| TH510測(cè)試延長(zhǎng)線 | TH26063G | ||||
| USB轉(zhuǎn)RC232通訊線纜 | TH26071C | ||||
| 選配 | |||||
| 配件名稱 | 型號(hào) | ||||
公司地址：天津市南開(kāi)區(qū)三馬路華都大廈5層07號(hào)中530
電話：17822216400（同微信）
QQ ：422083835
郵箱：tj_hckj2021@126.com
網(wǎng)址：tjhangce.cn
航測(cè)主營(yíng)：R&S（羅德與施瓦茨）、TEK(美國(guó)泰克)、GWinstek（臺(tái)灣固緯）、GMC-I(高美測(cè)儀)、 HIOKI（日本日置）、HY（航裕電源）、RIGOL（北京普源）、HBK（霍丁格必凱）、Minebea（日本美蓓亞）、INTEC（德國(guó)茵泰科）等品牌測(cè)量?jī)x器儀表。